ASML將于本季度末開始量產(chǎn)Twinscan NXT:2000i，價格未披露。目前，NXE:3400B EUV光刻機的報價是1.2億美元一臺，傳統(tǒng)的ArF沉浸式光刻機（14nm節(jié)點）報價是7200萬美元之間， NXT:2000i肯定是在這兩者之間了。
光刻機霸主ASML（阿斯麥）已經(jīng)開始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV（NXT:2000i雙工件臺深紫外光刻機），可用于7nm和5nm節(jié)點。NXT:2000i將是NXE:3400B EUV光刻機的有效補充，畢竟臺積電/GF的第一代7nm都是基于DUV工藝。

同時，NXT:2000i也成為了ASML旗下套刻精度（overlay）最高的產(chǎn)品，達到了和3400B一樣的1.9nm（5nm要求執(zhí)照2.4nm，7nm要求至少3.5nm）。

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